Brindamos soluciones de mecanizado CNC de alta precisión para equipos de semiconductores, brindando soporte a componentes mecánicos críticos utilizados en el procesamiento de obleas, sistemas de inspección, entornos de vacío y herramientas de fabricación de semiconductores.
Nuestro mecanizado se centra en una precisión ultra alta, integridad de la superficie y estabilidad dimensional a largo plazo, cumpliendo con los estrictos requisitos de los entornos de producción de semiconductores.
Piezas mecanizadas típicas para equipos semiconductores:
Cámara y componentes estructurales
- Carcasa de la cámara de proceso
- Cuerpo de la cámara de vacío
- Tapas y cubiertas de cámara
- Marcos y bases estructurales
Piezas funcionales de precisión
- Placas de vacío/placas de herramientas
- Placas de soporte de oblea
- Bases de montaje de precisión
- Placas de referencia de alineación
Componentes de interfaz y ensamblaje
- Bridas e interfaces de sellado
- Bloques de conectores
- Espaciadores y manguitos de precisión
- Fijación y localización de componentes.
Todas las piezas se fabrican para respaldar una alta limpieza, estabilidad térmica y precisión de ensamblaje repetible.
Procesos de mecanizado:
- Fresado CNC de alta precisión: para componentes de cámara, placas de herramientas y piezas estructurales que requieren planitud y precisión posicional.
- Torneado CNC y torneado suizo: se aplica a bridas, manguitos, ejes y componentes cilíndricos con estrictos requisitos de concentricidad.
- Mecanizado complejo: patrones de múltiples orificios, cavidades profundas, estructuras de paredes delgadas y geometrías de múltiples referencias que se encuentran comúnmente en herramientas semiconductoras.
Las tolerancias típicas alcanzan ±0,005 mm, con un control más estricto aplicado a las superficies de sellado, características de alineación e interfaces funcionales.
Consideraciones clave de mecanizado para equipos semiconductores
El mecanizado de equipos semiconductores requiere especial atención a:
- Planitud y paralelismo ultraaltos para herramientas y placas de vacío
- Control de deformación térmica durante el mecanizado y operación.
- Limpieza de superficies para evitar la contaminación por partículas.
- Control de apilamiento de tolerancia estricta para ensamblajes de varias piezas
- Repetibilidad de procesos para plataformas de equipos a largo plazo
Estos factores son críticos para mantener la precisión del equipo, la estabilidad del rendimiento y la consistencia del proceso.
Inspección y control de calidad
- Inspección dimensional de CMM con informes completos
- Verificación de planitud, paralelismo y posición de los agujeros.
- Inspección de interfaces críticas y superficies de sellado
- Trazabilidad de lotes y documentación de procesos.
Los procedimientos de inspección respaldan la producción repetible y el funcionamiento continuo del equipo.
Aplicaciones
Nuestras soluciones de mecanizado de semiconductores se utilizan ampliamente en:
- Equipo de procesamiento de obleas
- Sistemas de vacío y deposición.
- Herramientas de inspección de semiconductores
- Subsistemas de litografía y manipulación.
- Equipos de soporte a la fabricación de semiconductores.
¿Por qué elegir nuestras soluciones de mecanizado de semiconductores?
✔ Experiencia comprobada en componentes de equipos semiconductores
✔ Mecanizado de precisión para entornos de vacío y salas blancas
✔ Producción por lotes estable y capacidad de suministro a largo plazo
✔ Experiencia en fabricación de semiconductores optimizada para SEO
